Heating equipment for semiconductor devices: 無電極ランプを用いて半導体の急速加熱

学科の教員らは、無電極発熱ランプをマイクロ波により遠隔加熱する半導体の急速加熱技術により、非晶質シリコン膜の高品質な結晶化を達成しました。電気配線を必要としない無電極発熱ランプは省エネルギー性、耐久性、保守性に優れており、今後、革新的無電極ランプを用いた加熱装置およびユニット供給への道が拓けることが期待されます。Researchers from our department achieved high quality crystallization of amorphous silicon film by developing rapid heating technology with the microwave induced wireless heating lamp. The wireless lamp is excellent in energy saving, durability and maintainability, and it can be expected to be developed into a new heating device that is unprecedented.

IEEE Access of the Institute of Electrical and Electronics Engineers: Carbon Heating Tube Used for Rapid Heating System

NEWS RELEASE MAY 2019 ErukAlert (AAAS) eurekalert.org/

米国電気電子学会IEEE Access ieeexplore.ieee.org/document/8636915

大学のプレスリリース (pdf) | tuat.ac.jp/outline/disclosure/

研究チームでは、カーボン粒子を石英管にアルゴンガスとともに封入した無電極ランプであるCarbon-Heating-Tube (CHT)を開発しました。CHTにマイクロ波を照射すると、カーボン粒子がマイクロ波を吸収して発熱します。CHTは家庭用電子レンジの3分の1程度の200Wの電力で1279℃まで加熱され、均質な強い発光を示します。CHTには電極がなく、配線を必要としないため、耐久性に優れています。また、配線を通じた熱の逃げが発生しないため、これまでにない省エネルギータイプの加熱ランプといえます。さらに、従来のランプやヒーターに用いられる高価なレアメタルを必要とせず、安価な製造も可能です。

CHT急速加熱装置概念図