Environmental sensor. シリコン・光回路を使った環境モニタリング

光は情報通信、ディスプレイ、光ディスク、照明といった様々な機器が動作するための媒体です。スマートフォンなど情報通信機器の中に入っているシリコンを使って光回路を作り、二酸化炭素を検出することに成功しました。今後、ガスを吸着する(化学)材料を塗布することで、感度を高め、様々なガスの検知に応用し、オンチップガスセンサの実現を狙っています。

実験の様子

New design: Si slot waveguide sensors considering the overlap of the biolayer coated on the surface with light propagation section in order to realize specific gas detection with higher sensitivity. 

The fabricated Si slot waveguide ring resonators detected CO2, meaning that the device satisfies detecting capability and compatibility with the biolayer toward specific gas sensing.

関連発表:” CO2 Detection with Si Slot Waveguide Ring Resonators toward On-chip Specific Gas Sensing” 2019 Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO)
https://ieeexplore.ieee.org/document/8426917