タグ: 低環境負荷・高効率生産システム

Research.研究

Heating equipment for semiconductor devices: 無電極ランプを用いて半導体の急速加熱

次世代加熱装置のコア技術、電気配線の無い 革新的無電極ランプを用いて半導体の急速加熱を実現. Developing rapid heating technology with the microwave induced wireless heating lamp.

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Research.研究

Physics & chemistry of fluid. 沈殿反応による不安定対流

多孔質内媒質内の流動を抑えると考えられて

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