タグ: 低環境負荷・高効率生産システム

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Heating equipment for semiconductor devices: 無電極ランプを用いて半導体の急速加熱

次世代加熱装置のコア技術、電気配線の無い 革新的無電極ランプを用いて半導体の急速加熱を実現. Developing rapid heating technology with the microwave induced wireless heating lamp.

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Seminar, 2019. ナノ加工技術/機能性光学表面作製/Nano Fabrication for Optical Surface.

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多孔質内媒質内の流動を抑えると考えられて

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